本發明提供了一種納米級氧化膜厚度的電化學定量表征方法,該方法包括:多層薄膜樣品的制備:將待測樣品去除油污及雜質,在樣品表面鍍一層金屬薄膜;電化學實驗:用恒電位儀,將樣品作為三電極系統中的工作電極,飽和KCl甘汞電極作為參比電極,Pt作為對電極,在含NaCl?0.1~10mol/L的溶液體系中,使用恒電流法,將電流密度控制在0.1~100mA/cm2的范圍內,記下電位隨時間的變化,直至腐蝕電位趨于穩定;定量表征:在材料、電流密度及電解液濃度不變的情況下,標定腐蝕速度,從而得到氧化膜的厚度。本發明的方法對納米級氧化膜非常靈敏,結果可靠性高;取樣面積大,獲得的數據有代表性,可重復性高。
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