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    化學氣相沉積爐用沉積室

    754   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:02:27
    本實用新型涉及一種化學氣相沉積爐用沉積室，屬于炭/炭復合材料制造技術領域，其包括沉積室本體及上蓋板，其特征在于，所述沉積室本體為圓筒狀結構；所述上蓋板設置在所述沉積室本體的頂部，且與所述沉積室本體密閉連接，所述上蓋板上設有排氣孔；所述沉積室本體的套裝在發熱體內，所述沉積室本體設置在沉積爐底座上。所述沉積室本體采用石墨或炭/炭復合材料材質。本實用新型結構簡單，避免了工作氣體與石墨加熱器的接觸，增加了工作氣體的利用率，同時減少了熱解炭在石墨加熱器上以及引電連接部位上的不斷生長而造成的設備短路等故障，降低了設備檢修維護工作量。
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    “化學氣相沉積爐用沉積室” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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