本實用新型公開了一種用于化學氣相沉積的可控制備裝置,包括連接底座、固定渦殼、連接法蘭和驅動電機,所述連接底座頂部安裝有固定渦殼,且固定渦殼位于連接底座頂部一側,所述固定渦殼一側設有連接法蘭,所述連接底座頂部安裝有驅動電機,且驅動電機位于連接底座頂部另一側,所述驅動電機的旋轉端上安裝有驅動軸,且驅動軸貫穿連接法蘭伸進固定渦殼內。本實用新型的有益效果是,方便對連接葉輪進行安裝與拆卸,方便對連接葉輪檢修與更換,提高了工作效率,采用全包圍螺母,提高了驅動軸的密封性,可以防止驅動軸的位置處聚集污垢,防止出現不能拆卸的現象,提高了防水密封性能,提高了工作效率,防止造成水資源浪費,通過注水口方便向固定渦殼內注水。
聲明:
“用于化學氣相沉積的可控制備裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)