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    制備石墨烯、六角氮化硼等薄膜材料的化學氣相沉積裝置

    837   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:02:29
    本發明涉及一種氣相沉積設備。本發明一種制備石墨烯、六角氮化硼等薄膜材料的化學氣相沉積裝置，所述裝置包括兩個獨立的真空腔體——主腔體（1）和副腔體（2）、加熱裝置（3）、測溫裝置、供氣裝置、抽氣裝置、冷凝裝置、傳動裝置（4）、插板閥（5）及硼氮蒸發源（6）。其中主腔體（1）用于薄膜材料的制備，副腔體（2）用于硼氮源的洗氣。本發明采用不銹鋼腔壁，使用分子泵+機械泵的抽氣裝置，本底真空可達到10-8mbar，充分減少雜質氣體分子對生長過程造成的影響。采用內加熱方式，不僅能降低能耗，而且能形成溫度更均勻的恒溫區，而溫度測量采用直接測量樣品或者充分靠近樣品，從而得到更準確的溫度參數。設計內加熱裝置的移動降溫功能，實現快速降溫，有效減少降溫過程中碳原子的析出。
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    “制備石墨烯、六角氮化硼等薄膜材料的化學氣相沉積裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    化學分析
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