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    化學氣相沉積-高溫處理一體化高溫爐

    1003   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:02:30
    本實用新型公開了一種化學氣相沉積?高溫處理一體化爐，爐蓋上配合有爐體，爐體內部安裝有加熱保溫系統，加熱保溫系統遠離爐蓋的一端連接有出料盤；體的一側壁安裝有測溫裝置；該測溫裝置穿過爐體、加熱保溫系統進入爐體中心；爐體的另一側壁安裝有電極；出料盤的底部連接有進氣系統，該進氣系統用以給爐體內部充入氣體并與工作件發生反應。對完成沉積過程的材料進行需要高溫處理時，由于爐體內部設置有加熱及保溫系統，通過電極對加熱及保溫系統的中頻感應線圈進行加熱，將爐體內部溫度升高到1800℃以上進行高溫處理，完成材料制備的全過程。將沉積爐與高溫爐整合到一臺設備節約了工作程序，降低設備運行成本、人力成本、時間成本等。
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    聲明：
    “化學氣相沉積-高溫處理一體化高溫爐” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    化學分析
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