本發明涉及一種電化學氣體傳感器及其器件封裝方法,包括:上蓋板、電極板、基板;所述上蓋板使用多孔陶瓷材料,待測氣體可通過陶瓷微小氣孔進入傳感器內部;所述電極板背面為三電極共面體系的微間距傳感器電極,電極上覆蓋有固態電解質層,并密封于基板挖槽內;所述電極板通過粘合劑耦合在所述基板上,并通過金絲綁定與所述基板電氣相連。本傳感器實現了部件少、體積小、靈敏度高、使用壽命長的封裝設計。
聲明:
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