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    用微波等離子體化學氣相沉積制備過渡金屬磷化物的方法

    741   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 07:03:20
    本發明公開了一種用微波等離子體化學氣相沉積制備過渡金屬磷化物的方法,包括如下步驟:1)將裝有次磷酸鈉的陶瓷舟和過渡金屬的氫氧化物前驅體納米件一并放到腔體內石墨臺上,關閉所述腔體并對所述腔體抽真空;2)向所述腔體通入氮氣,調節微波功率,以生成氮等離子體和磷化氫等離子體;3)調節所述氮氣的流量,使腔內氣壓保持在15torr~23torr范圍內,待上述的等離子體狀態穩定并包裹上述的樣品反應0.5min~3min后,結束反應,關閉微波源;4)待所述腔體冷卻,取出樣品,即得到過渡金屬磷化物。本發明制備的過渡金屬磷化物納米粒子粒徑小,結晶度高,這提高了其催化性能和可靠性能,利于催化領域的測試與表征,利于研究其電催化特性。
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