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    電熱控溫式的化學機械拋光平臺

    1153   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:03:20
    本實用新型公開了一種電熱控溫式的化學機械拋光平臺，包括拋光盤和旋轉軸，還包括溫度控制器和加熱器，拋光盤包括面板、底座和中空的連接座，底座上表面開設有凹槽，凹槽內設置有陶瓷盤，陶瓷盤中部開設有連接避位孔，陶瓷盤上開設有盤旋槽，盤旋槽內設置有加熱絲；連接座固定連接在旋轉軸的頂部；凹槽內還設置有熱電偶和連接線，旋轉軸的外側壁上絕緣設置有兩組金屬圈，旋轉軸對應兩組金屬圈的位置開設有連接孔，熱電偶和連接線與兩組金屬圈連接。本實用新型技術方案簡單實用，旨在采用溫度控制器通過熱電偶實時測量并控制加熱器以調節拋光盤的表面溫度，從而將拋光盤恒定在所需溫度下，實現精準控制拋光溫度的目的。
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    聲明：
    “電熱控溫式的化學機械拋光平臺” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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