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    化學氣相沉積法玻璃車床料柜及使用方法

    1090   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:03:20
    本發明一種化學氣相沉積法玻璃車床料柜及使用方法，包括料柜框以及設置在料柜框內的四氯化硅料瓶系統和各種氣體管道系統，還包括快速排氣閥、加熱盤、風扇、固定架、柜溫熱電偶、管溫熱電偶、環狀加熱帶、溫控表、氣體探測器。采用夾層填充保溫棉結構，具有優良的保溫隔熱效果，柜內設有恒溫溫控裝置，可使柜內空氣、各進料管路溫度和料瓶溫度保持恒定。內柜體還設有危險氣體報警系統，增加了內柜體安全性。
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    “化學氣相沉積法玻璃車床料柜及使用方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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