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    拋光液供給位置核準裝置和化學機械拋光系統

    736   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:03:21
    本實用新型公開了一種拋光液供給位置核準裝置和化學機械拋光系統，所述拋光液供給位置核準裝置包括固定座和水平板，所述固定座可拆卸地設置于拋光盤的外周壁，所述水平板連接于所述固定座的頂部并朝向拋光盤的中心設置；所述水平板設置于拋光墊與拋光液供給臂之間，拋光液經由所述拋光液供給臂的端部滴落至所述水平板的頂面，水平板的頂面設置有刻度線以量測拋光液的滴落位置。
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    “拋光液供給位置核準裝置和化學機械拋光系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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