本發明屬于光學傳感器技術領域,具體為一種用于氣體分子、生物分子檢測的法布里帕羅微腔傳感芯片及其制備方法和檢測系統。本發明傳感芯片包括制備有微泡的毛細石英管以及微泡表面鍍覆的高反射率薄膜;微泡為中空結構;微泡表面的反射膜及微泡液芯區域形成法布里帕羅微腔。本發明基于微泡的透鏡效應,克服了傳統法布里帕羅諧振腔對平面反射鏡之間高平行度的要求,減小了腔內諧振模式的體積,增加了腔內的光能量密度,使光與物質之間的相互作用增強;結合氣體分子、生物分子對特定波段的光吸收特性以及比爾朗伯定律,實現對于超低濃度化學氣體分子或生物分子的高靈敏度以及微量、痕量分析物檢測。傳感芯片結構簡單,制備方便,且重復利用率高。
聲明:
“法布里帕羅微腔傳感芯片及其制備方法和分子檢測系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)