本發明提供一種檢測納米材料的長周期圖案(LPP)種類的方法,包括如下步驟:(1)將納米材料制作成掃描透射電子顯微鏡樣品,放在帶球差校正的掃描透射電子顯微鏡中;(2)找到LPP區域,帶球差校正的掃描透射電子顯微鏡調至正常的成像模式,在一個欠焦量下獲得HAADF像;(3)通過多次改變帶球差校正的掃描透射電子顯微鏡的欠焦量,獲得一系列欠焦量不同的像;(4)分析系列欠焦像,比較每一幀結構的變化。本發明解決了用常規方法難以判斷納米材料的LPP種類的問題,為下一步電學、力學和光學等物理性質以及化學性質的研究打好前提。另外,本發明采用的斷層成像法在原位、快速、無損表征材料或器件結構方面有獨到的優勢。
聲明:
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