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    工藝終點檢測裝置

    890   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:08:35
    本實用新型涉及一種工藝終點檢測裝置，與化學機械拋光機臺配合使用，其包括：一光發射模塊以及一光檢測模塊，其特征在于，化學機械拋光機臺的拋光平臺設有一上下貫通的窗口，待檢晶圓置于拋光平臺上并遮蔽窗口，終點檢測裝置位于拋光平臺下方并與其分離設置，光發射模塊發出光束自窗口投射至待檢晶圓表面，光檢測模塊經由窗口接收待檢晶圓表面薄膜表面的反射光束，并計算表面薄膜厚度以確定化學機械拋光工藝的終點。其便于拆卸、更換或維護。
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    聲明：
    “工藝終點檢測裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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