本發明公開了一種光學玻璃磨粒加工亞表面裂紋損傷分布特征檢測方法,采用表層拋光技術,可以更快速有效的去除試樣磨粒加工后的表面材料,使隱藏在亞表面下較大深度的裂紋充分暴露出來,便于對大面積裂紋形貌的觀察以及分布特征的檢測,提高了檢測效率;采用氫氟酸化學蝕刻技術,根據腐蝕深度與裂紋擴展后的寬度之間的關系,判斷裂紋特定方向上是否成等速腐蝕,可反推出化學蝕刻前裂紋沿著垂直于試樣亞表面向下的真實深度,進而可以準確的得到試樣總亞表面裂紋深度。本發明通過結合表層拋光技術和化學蝕刻技術,實現了光學玻璃磨粒加工后亞表面大面積較深裂紋分布特征的快速、高效、準確檢測。
聲明:
“光學玻璃磨粒加工亞表面裂紋損傷分布特征檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)