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    檢測金屬離子含量的方法

    768   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:08:37
    本發明提供了一種檢測金屬離子含量的方法，所述方法包括以下步驟：S1、在晶圓需要檢測金屬離子含量的位置輸入能夠與晶圓的襯底發生化學反應的第一物質，其中，所述第一物質與所述襯底發生化學反應生成第二物質，所述第二物質從所述襯底的表面滲入所述襯底的內部；S2、檢測所述第二物質中所包含的金屬離子含量。由于所述第二物質容納了晶圓的襯底表面所有的金屬離子及襯底內部大部分的金屬離子，檢測出的金屬離子含量不僅包括襯底表面的金屬離子含量，而且包括滲入襯底內部的大部分金屬離子含量，從而提高了金屬離子含量檢測的準確性。
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    聲明：
    “檢測金屬離子含量的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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