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    碲鋅鎘晶片損傷層厚度的檢測方法

    774   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:08:37
    本發明公開了一種碲鋅鎘晶片損傷層厚度的檢測方法，本發明先使用體積分數為1％-5％的溴甲醇溶液，對晶片(111)B面進行10-30分鐘的化學梯度減薄，獲表面為斜面的樣品。再使用Everson腐蝕液揭示晶體的缺陷，在100倍視場下用光學顯微鏡進行觀察，確定損傷層剛好完全去除的位置，比較損傷層去除前后的晶片厚度差異，計算損傷層厚度。本發明的優點是：(1)通過觀察晶片表面缺陷的形貌來判斷損傷層厚度，結果直觀準確。(2)能夠在1小時內完成晶片損傷層厚度檢測，不存在多次腐蝕及多次檢測，便利快捷，實用性高。
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    “碲鋅鎘晶片損傷層厚度的檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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