一種研磨液、過拋和終點檢測方法及裝置、拋光設備,所述終點檢測方法,包括:利用包含顯色劑的研磨液對需要拋光的物質進行化學機械拋光;收集從化學機械拋光設備的拋光墊上流出的研磨液;利用比色法獲知從拋光墊上流出的研磨液中包含的需要拋光物質的濃度,所述需要拋光物質的濃度逐漸減小到預定范圍內,或者研磨液中需要拋光物質的濃度在預定范圍內且拋光的時間大于預定時間,或者研磨液中需要拋光物質的濃度第二次在預定范圍內,輸出終點檢測信號。本技術方案可以有效防止晶圓的過拋問題。
聲明:
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