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    硅納米線芯片及基于硅納米線芯片的質譜檢測方法

    853   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:13:09
    本發明公開了一種硅納米線芯片及基于硅納米線芯片的質譜檢測方法，檢測方法，包括如下步驟：步驟一，制造硅納米線芯片；將單晶硅片經表面洗滌預處理后經過金屬輔助刻蝕、堿后刻蝕得到具有尖端的硅納米線芯片；對硅納米線芯片進行表面化學或納米材料修飾；步驟二，硅納米線芯片質譜性能評估；步驟三，頂端接觸取樣及原位離子化質譜檢測；本發明充分利用硅納米線芯片的納米結構特性和半導體特性，將接觸式萃取轉印和免基質質譜檢測集合于一體，大大簡化了復雜樣本的采集、預處理和檢測過程；本發明制造出的硅納米線芯片能夠同時具備吸附、萃取功能與質譜檢測功能，還能保留有空間異質性的樣本的原位信息。
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    “硅納米線芯片及基于硅納米線芯片的質譜檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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    化學分析
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