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    檢測生產環境對金屬連線腐蝕的方法

    1177   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:19:34
    本發明公開了一種檢測生產環境對金屬連線腐蝕的方法，包括如下步驟：提供一晶圓，在所述晶圓的切割道上制備離子阱組合結構，其中，所述離子阱組合結構包括各種類器件結構的離子阱結構，每種器件的離子阱結構中P阱和N阱均通過各自上方的接觸孔連接金屬連線；將所述制備好離子阱組合結構的晶圓放置在正常的生產環境中；通過顯微鏡觀察所述晶圓切割道上離子阱組合結構的金屬連線的電化學腐蝕情況。采用本發明的技術方案可以更快檢測出生產環境對金屬連線腐蝕的影響，以便在實際的生產中進行相應的改進，從而提高產品的良率。
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