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    用于硅納米線生物檢測芯片的結構及其制造方法

    795   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:19:34
    本發明揭示了一種硅納米線生物檢測芯片的結構及制造方法，該結構包括半導體襯底、生長在半導體襯底上的二氧化硅隔離層、生長在二氧化硅隔離層上的多晶硅層和生長在多晶硅層上的結構層；其中，多晶硅層中包括圖形化形成的硅納米線陣列；結構層的結構為從下至上依次包括SiON層、TaN層和/或Ta2O5層，且TaN層和/或Ta2O5層僅覆蓋于硅納米線陣列中各硅納米線的表面。因此，本發明不僅解決了硅納米線陣列（SiNW）在保存應用中存在的容易受污染的問題，且能使生物芯片經受Na、K、Fe、Cu和Ca等離子的擴散污染的考驗，以及PH值等多種化學因素的影響，即實現了檢測的高穩定性。
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