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    質量傳感器和質量檢測方法

    1006   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:20:08
    一種質量傳感器(30),其中一個連接片(33)和一個膜片(31)在它們相應的側面連接的一起;一個傳感片( 32)在其相應的側面沿與膜片(31)與連接片(33)連接方向垂直的方向相連;在傳感片(32)的至少一個片表面上安裝有由一個壓電膜和一個電極構成的一個壓電元件(35);由膜片(31)、傳感片(32)、連接片(33)、和壓電元件(35)組成的一個共振部分與一個傳感器基體(34)相連。通過測量共振部分的共振頻率隨膜片(31)質量變化而產生的變化可以測量出膜片(31)質量的變化。本發明的質量傳感器能夠容易并且準確地測量毫微克量級的微小質量,包括微生物例如細菌和病毒、化學物質,以及蒸氣沉積膜的厚度。
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