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    用于終點檢測的拋光襯墊及相關方法

    787   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 07:20:08
    一種具有拋光層(22)的拋光襯墊,該拋光層有拋光面(24)和底面。拋光面上形成有多條溝槽(28b),且在拋光層的底面上形成有凹槽(52)。在拋光面上對應于底面中的凹槽的區域沒有溝槽或有淺溝槽(28a)。
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