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    溫度傳感器在線泄露的檢查裝置

    1159   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:20:11
    本實用新型提供一種溫度傳感器在線泄露的檢查裝置，所述溫度傳感器包括至少一端部裸露在設備之外的套管，所述檢查裝置包括至少一采樣管道及一氣體探測器，每一采樣管道的一端密封連接至套管的裸露在外的端部，另一端通過一采樣泵與所述氣體探測器連接，所述溫度傳感器損壞而泄露的氣體通過采樣管道進入所述氣體探測器，所述氣體探測器檢測到泄露氣體并報警。本實用新型的優點在于：本實用新型檢查裝置能夠及時有效的起到提示作用，讓工作人員及時更換已壞的TC，增加其它TC使用壽命，同時降低隱患發生機率，TC的更換，能夠使設備更好的監控硅片的溫度，減少硅片的報廢，提高產品的良率，且能夠防止化學氣體泄漏，保障工作人員人身安全。
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