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    檢驗基板的處理方法及處理裝置

    729   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:22:38
    本發明提供一種檢驗基板的處理方法及處理裝置。處理方法包括：在檢驗基板上設置犧牲膜層；利用等離子體增強化學氣相沉積法在所述犧牲膜層上形成檢驗膜層；在對所述檢驗膜層的形成狀況進行檢驗后，從所述檢驗基板上去除所述犧牲膜層，從而使得所述檢驗膜層與所述檢驗基板分離；回收所述檢驗基板。本發明的方案先在檢驗基板上沉積出易于與檢驗基板分離的犧牲膜層，之后再使用離子體增強化學氣相沉積法制作出用于檢驗化學氣象沉積工藝的檢驗膜層，在驗證完成后，只需要將犧牲膜層與檢驗基板分離，即可重新回收干凈的檢驗基板，使得檢驗基板可以在下次檢驗中繼續使用，從而節約了制作成本，因此具有很高的實用價值。
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