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    具整合微流道的聲波感測裝置及其方法

    1178   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:23:21
    本發明提供一具整合微流道的聲波感測裝置及其方法,是以一壓電塊材作為基板,以機電或化學加工方式做其感測區域成為壓電薄板,再利用指叉狀電極結構(INTER-DIGITAL TRANSDUCER,IDT)使其產生平板撓曲波。本發明更可進一步以同一制程或接合方式將微流道整合在同一具壓電特性的基板上。本發明利用新的元件制程及設計,以制作出具有壓電特性佳、溫度補償特性穩定及結構堅固的元件,將使得平板撓曲波可應用于液態感測器上。因此本發明能解決現有的聲波感測裝置的壓電特性及薄膜結構不佳等問題。
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    聲明：
    “具整合微流道的聲波感測裝置及其方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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