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    MSM型多孔氧化嫁日盲探測器及其制造方法

    1022   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:23:25
    本公開提供了一種MSM型多孔氧化嫁日盲探測器及其制造方法，其中探測器包括：外延結構和在外延結構表面蒸鍍的MSM電極；外延結構包括：襯底、襯底上的u?GaN外延層和u?GaN外延層上的n?GaN外延層；在n?GaN外延層上層進行電化學腐蝕得到多孔結構的n?GaN外延層，對多孔結構的n?GaN外延層進行氧化處理得到多孔結構的氧化嫁外延層；MSM電極蒸鍍在多孔結構的氧化嫁外延層表面。本公開通過熱氧化法氧化多孔結構的n?GaN制備多孔氧化嫁日盲探測器能夠顯著增大氧化嫁薄膜的比表面積，使更多的氧分子在多孔氧化嫁的表面發生吸附和解吸附，從而大幅度提高氧化嫁探測器的紫外探測性能。
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