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    延長測試晶圓使用壽命的方法

    883   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:25:17
    本發明公開了延長測試晶圓使用壽命的方法，涉及集成電路制造工藝領域。該方法應用于電子束缺陷掃描儀抓取率檢測中，包括：提供一已被電子束缺陷掃描儀掃描后的測試晶圓，所述測試晶圓的表面形成有亞穩態的化學鍵；采用離子溶液去除所述亞穩態的化學鍵，所述離子溶液的PH值為：PH>8.5或PH<5.5。本發明通過將測試晶圓與離子溶液充分接觸，以修復由于電子束掃描對測試晶圓造成損壞，使測試晶圓夠長期有效的監控電子束缺陷掃描儀抓取率，避免更換檢測晶圓帶來的多余的數據收集工作以及抓取率長期數據產生偏差，進而保證在線缺陷數據的可靠性與穩定性，為大批量晶圓生成提供良率保障達到了提高晶圓使用壽命的目的。
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    聲明：
    “延長測試晶圓使用壽命的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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    化學分析
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