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    流速測量裝置

    1092   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:25:17
    本發明屬于半導體設備領域，具體地說是一種利用光纖傳感器檢測液體流速的流速測量裝置，適用于精準控制液體流速的設備，尤其適用半導體制程中化學藥劑的精確供應，包括浮子流量計，所述浮子流量計相對應的兩側分別安裝有光纖傳感器，所述兩側的光纖傳感器分別與控制系統電連接；液體由所述浮子流量計的進液端口進入玻璃管內，由出液端口流出，所述玻璃管中的浮子通過上下兩端產生差壓形成的上升力向上浮動至光纖傳感器的安裝位置，阻擋兩側的光纖傳感器的信號，所述信號送至控制系統。本發明利用光纖傳感器照射浮子流量計中的浮子，通過檢測浮子在浮子流量計中的上下位置，達到控制化學藥劑流量的目的，結構簡單，控制方便。
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    聲明：
    “流速測量裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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    標簽：
    化學分析
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