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    用于低密度材料的芯片級感測裝置

    769   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:25:18
    一種針對各種應用的在芯片級上高效地且經濟地生產的電化學傳感器裝置被公開。在一些方面，所述裝置是在晶圓技術上或者使用晶圓技術制作的，由此傳感器室是通過所述晶圓創建的，并且氣體端口允許傳感器的工作電極檢測某些氣體。通過使用晶圓技術，大規模生產是可能的，其中單個傳感器是從一個或更多個共用晶圓生產的。集成電路在晶圓中或晶圓上被以集成的方式制作以使得晶圓為集成電路系統和互連部分提供基板、而且還提供其中設置氣體傳感器的室的限定。
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