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    測量硅拋光片表面鐵含量的方法

    1054   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 07:25:18
    本發明涉及一種測量硅拋光片表面鐵含量的方法,所屬硅拋光片金屬含量檢測技術領域,包括如下操作步驟:第一步:使用SPV法測出硅拋光片體鐵含量,記為B1。第二步:把硅拋光片放入退火爐在高純氬氣保護下,在高溫下加熱10~20分鐘,使硅拋光片表面的鐵驅入硅片體內。第三步:再次使用SPV法測出硅拋光片體鐵含量,記為B2。第四步:利用SPV法測量高溫前后兩次體鐵含量算式算出硅片表面鐵含量,硅片表面鐵含量=0.5×(B2?B1)×T。具有方法簡單、操作方便、節能環保和安全穩定性高的優點。解決了危險化學品使用的問題。避免了化學液的環保處理過程。
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