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    用于陳化感測等離子體設備的半導體裝置的方法和裝置

    1016   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:25:57
    一種等離子體設備陳化方法和被應用該陳化方 法的等離子體設備。所述陳化方法包括以下步驟：在操作等離 子體設備執行等離子體工藝前、測量在等離子體設備的工藝室 中出現的基于硅氧化物(SiOX)的 化學物種的光發射強度與基于碳氟化物化合物 (CFY)的化學物種的光發射強度 的比；確定所測量的光發射強度比的值是否在正常狀態的預定 范圍內；以及，當基于確定結果為使得所測量的光發射強度比 的值在正常狀態的預定范圍內時，將待在等離子體工藝中使用 的反應氣體供給到工藝室時，陳化工藝室的內部以改變反應氣 體的成分比，并由此改變光發射強度比。
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