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    CVD系統襯底的無電刷測溫方法及裝置

    804   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:27:10
    本發明針對現有的熱絲化學氣相沉積(熱絲CVD)法金剛石膜沉積系統中襯底溫度測量不便或無法動態測量的問題,發明一種能實時連續測量襯底表面溫度分布的CVD系統襯底的無電刷測溫方法及裝置,其關鍵是將回轉式襯底工作臺改變為擺動式工作臺,既保證襯底表面的溫度均勻性,又使得熱電偶測溫變得十分方便,改變傳統的熱電偶加電刷的結構,可對襯底表面溫度進行實時監控。
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    聲明：
    “CVD系統襯底的無電刷測溫方法及裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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