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    制備太陽盲紫外探測器的方法

    743   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:27:46
    本發明涉及紫外探測器的制備方法，特別是一種制備太陽盲紫外探測器的方法，采用金屬有機化學氣相沉積法在藍寶石襯底上制備氧鋅鎂膜層，在該氧鋅鎂膜層上再蒸鍍Au膜層，用濕法刻蝕Au膜層制備出叉指形電極，所述的氧鋅鎂膜層是在以下工藝條件下獲得的具有單一立方相的、其吸收邊從220nm到260nm的MgZnO薄膜：生長溫度為300℃～500℃，生長室真空度為2×104Pa，載氣為99.9999％高純氮氣，以二茂鎂作為鎂源，二乙基鋅作為鋅源，通過流量控制使生長室中的Zn、Mg摩爾濃度比為Zn/Mg＝0.4～1，氧氣壓力為2.5×105Pa、流量為550ml/min。本發明方法所獲得的立方相MgZnO合金薄膜，不出現分相，具有很好的重復性；其紫外/可見抑制比大于3個量級，光響應截止邊在230－280nm連續可調。
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    化學分析
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