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    > 具有DLC保護膜的紅外焦平面陣列探測器及其制備方法

    具有DLC保護膜的紅外焦平面陣列探測器及其制備方法

    971   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:27:48
    本發明提供了一種具有DLC保護膜的紅外焦平面陣列探測器的制備方法，包括以下步驟：A)將紅外焦平面陣列探測器的窗口依次采用丙酮和工作液進行清洗；B)將清洗后的紅外焦平面陣列探測器的窗口在真空條件下，通入氬氣，進行射頻等離子清洗；C)再通入碳源氣體，采用射頻等離子增強化學氣相沉積方法在紅外焦平面陣列探測器的窗口的表面沉積DLC保護膜，得到具有DLC保護膜的紅外焦平面陣列探測器；所述步驟C)的射頻功率為100～2500W，所述步驟C)的真空度為3×10?3～3×10?5Pa。本發明還提供了一種具有DLC保護膜的紅外焦平面陣列探測器。
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