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    測試結構及其版圖生成方法

    912   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:27:48
    本發明提供了一種測試結構，包括襯底以及所述襯底上的n×m個陣列的子MOS結構，每一所述子MOS結構包括柵極以及有源區；第i行、第j列的所述子MOS結構還包括柵極通孔以及有源區通孔；n≥3，m≥3，1＜i＜n，1＜j＜m，n、m、i、j均為正整數。本發明還提供一種測試結構的版圖生成方法。在所述測試結構中，第i行、第j列的所述子MOS結構作為待測試的MOS管，其余的所述子MOS結構作為冗余MOS管，提高所述測試結構中的圖形密度分布的均勻型，使得所述測試結構在制備過程中，避免受化學機械研磨和刻蝕等工藝的影響大，從而提高可靠性測試的結果的準確度。
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    聲明：
    “測試結構及其版圖生成方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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