• <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>
  • 合肥金星智控科技股份有限公司
    宣傳

    位置：中冶有色 >

    有色技術頻道 >

    有色金屬技術

    礦山技術

    冶金技術

    材料制備及加工技術

    環境保護技術

    分析檢測技術

    > 分析檢測技術

    > 化學分析技術

    > 在高溫陶瓷加熱器上的集成襯底溫度測量

    在高溫陶瓷加熱器上的集成襯底溫度測量

    771   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:27:49
    本文的實施方式提供了一種用于在諸如等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)工藝之類的等離子體增強沉積工藝期間直接地監測襯底的溫度的襯底溫度監測系統。在一個實施方式中，一種襯底支撐組件包括：支撐軸；襯底支撐件，所述襯底支撐件設置在所述支撐軸上；以及襯底溫度監測系統，所述襯底溫度監測系統用于測量待設置在所述襯底支撐件上的襯底的溫度。所述襯底溫度監測系統包括光纖管、耦接到所述光纖管的光導、以及圍繞所述光纖管和所述光導的接合處設置的冷卻組件。在本文中，所述光導的至少一部分設置在延伸穿過所述支撐軸并進入所述襯底支撐件的開口中，并且所述冷卻組件在襯底處理期間維持所述光纖管處于低于約100℃的溫度。
    登錄解鎖全文
    聲明：
    “在高溫陶瓷加熱器上的集成襯底溫度測量” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
    分享 0
             
    舉報 0
    收藏 0
    反對 0
    點贊 0
    標簽：
    化學分析
    上一個：基于Q學習的室內測量機器人多目標點移動路徑規劃方法
    下一個：化工事故預測方法和系統

    與 “在高溫陶瓷加熱器上的集成襯底溫度測量” 相關技術

    ? 可自動控制的節能熔銅爐
    ? 金屬回收爐
    ? 帶銅渣處理裝置的熔銅爐
    ? 豎式熔銅爐上料小車安全防護結構
    ? 熔銅爐冷卻水流量及流量差檢測報警裝置
    ? 鋰電銅箔生產加工用熔銅設備
    ? 銅錠生產用高效節能工頻感應熔銅爐
    ? 熔銅爐專用耐高溫起重機
    ? 銅爐銅液回收裝置
    ? 循環冷卻水排污水除硬脫鹽強化預處理技術

    相關化學分析設備推薦

    四點彎曲強度檢測儀
    臥式數顯彈簧扭轉試驗機
    反射膜厚儀
    扭矩檢定儀
    雙探頭涂鍍層測厚儀
    全國熱門有色金屬技術推薦
    江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
    展開更多 +

     

    中冶有色技術平臺

    最新更新技術

    ?可自動控制的節能熔銅爐
    ?金屬回收爐
    ?帶銅渣處理裝置的熔銅爐
    ?豎式熔銅爐上料小車安全防護結構
    ?熔銅爐冷卻水流量及流量差檢測報警裝置
    ?鋰電銅箔生產加工用熔銅設備
    ?銅錠生產用高效節能工頻感應熔銅爐
    ?熔銅爐專用耐高溫起重機
    ?銅爐銅液回收裝置
    ?循環冷卻水排污水除硬脫鹽強化預處理技術

    報名參會
    更多+

    2025鉛鋅產業市場研討會
    2025鉛鋅產業市場研討會
    2025年08月07日 ~ 09日
    第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
    第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
    2025年08月08日 ~ 10日
    第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
    第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
    2025年08月14日 ~ 16日
    第四屆難熔金屬及硬質合金技術研討會
    第四屆難熔金屬及硬質合金技術研討會
    2025年08月15日 ~ 17日
    2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
    2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
    2025年08月18日 ~ 20日

    報告下載

    1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
    下載:141
    2 取、制樣安全淺析
    下載:133
    3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
    下載:111
    4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
    下載:101
    5 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
    下載:99
    6 樣品變質引起采制樣和結算問題
    下載:98
    7 用于X熒光分析的樣品前處理及其
    下載:96
    8 礦產品人工取樣方案的制定及案例
    下載:95
    9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
    下載:92
    10 非常規礦產品取制樣方法的探討
    下載:91
    赤泥綜合利用研究報告2025
    推廣

    熱門技術
    更多+

    1防爆閥保護膜
    2壓力平衡機構
    3水電站的尾水預埋件
    4化工礦產有色金屬的檢測機構
    5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
    6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
    7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
    8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
    9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
    10便攜式礦山測量激光儀
    衡水宏運壓濾機有限公司
    宣傳
    環磨科技控股（集團）有限公司
    宣傳

    發布

    在線客服

    公眾號

    電話

    頂部
    咨詢電話：
    010-88793500-807
    專利人/作者信息登記
    久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码
    • <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>