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    自驅動式氧鋅鎂紫外探測器及其制備方法

    954   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:28:46
    本發明涉及一種自驅動式氧鋅鎂紫外探測器及其制備方法，屬于紫外探測技術領域，該制備方法包括：采用金屬有機化學氣相沉積法在襯底上制備氧鋅鎂薄膜層；在步驟一得到的氧鋅鎂薄膜層上通過真空熱蒸發的方法制備出Au電極層；通過濕法刻蝕所述Au膜層制備出多對叉指電極,即如圖所示連接有至少一個第一叉指電極的第一電極和連接有至少一個第二叉指電極的第二電極；所述第一叉指電極與所述第二叉指電極像張開的雙手一樣相互插在一起。本發明的自驅動式氧鋅鎂紫外探測器在紫外波段具有很好的光伏特性，可在不需要外加電源的情況工作，極大的節約了能源,且其0伏響應度高，工作時穩定性好，此外，器件制備工藝簡單，可控性好。
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