本發明涉及硅襯底的濕法化學處理領域。本發明尤其涉及一種用于測定水性處理液中的硝酸濃度的方法,所述水性處理液用于處理諸如由硅制成的襯底。該方法是基于使用消除劑的UV光譜法/光度法進行的硝酸根離子的測定,所述消除劑有效除去由其他物質引起的干擾吸收。硝酸根離子的濃度對應于硝酸的濃度。根據本發明,提供一種確實的方法,使用該方法可以非常精確地測定酸混合物中的硝酸的含量,特別是在未使用的酸混合物中,對應于使用目的而使用過的酸混合物中也可以同樣測定。
聲明:
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