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    應用石墨烯電極在GaN自支撐襯底上制備AlGaN肖特基日盲紫外探測器的方法

    1002   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:28:46
    本發明涉及一種應用石墨烯電極在GaN自支撐襯底上制備AlGaN肖特基日盲紫外探測器的方法，其中制作方法包括：先通過氫化物化學氣相制備自支撐襯底GaN，在GaN自支撐襯底上依次沉積N型重摻雜高Al組分的AlGaN層、N型輕摻雜高Al組分的AlGaN層。然后在結構背面，通過電子束蒸發制作歐姆接觸的背電極，在N型輕摻雜AlGaN層上制備石墨烯肖特基接觸，并且用剝離技術制作圓形圖案。最后在整個結構頂部沉積一層鈍化層，并刻蝕部分鈍化層至石墨烯肖特基接觸表面，然后沉積金屬蓋帽層。本發明兼顧目前的工藝生產流程，將高阻率的GaN作為自支撐襯底，實現了兩個接觸制作在襯底不同側，減小了開啟電壓，并且將石墨烯用作肖特基接觸，進一步提高紫外透過率，提高日盲紫外探測器性能，以用于探測微弱信號的紫外光線。
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