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    高壓原位阻抗譜測量的電極及其制備方法和應用

    1105   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:28:47
    本發明的高壓原位阻抗譜測量的電極及其制備方法和應用屬于高壓條件下電學量原位測量的技術領域。電極組成有在金剛石壓砧(2)表面和金屬膜電極(1)上沉積的氧化鋁保護層(3);金屬膜電極(1)在金剛石壓砧(2)的砧面中心呈圓形,在金剛石壓砧(2)的側面的金屬膜電極(1)部分粘接銅絲導線(5);金屬墊片(4)作另一個電極,與金屬膜電極(1)一起構成軸對稱的電極體系。采用磁控濺射方法鍍鉬膜、沉積氧化鋁膜、光刻和化學腐蝕的方法制作電極。本發明解決了電極固定以及樣品腔絕緣等問題,可以忽略體系的寄生電容和寄生電感對測量結果的影響,使得高壓下用金剛石對頂砧原位測量物質阻抗譜成為可能。
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