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    NixMg1-xO短波長紫外光探測材料

    868   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:28:47
    NixMg1-xO短波長紫外光探測材料屬于半導體材料技術領域?，F有GaxAl1-xN材料存在的 不足有，首先，制作薄膜所使用的藍寶石襯底昂貴；其次，需要使用化學氣相沉積等大型、 復雜設備生長，生長溫度也較高，造成了能源的浪費；第三，禁帶寬度調節范圍較小，即 3.4～6.2eV；第四，GaN和AlN晶格失配和離子半徑失配較大，分別為1.8％和15％。本發明 之短波長紫外光探測材料的分子式為NixMg1-xO，0≤X≤1。以石英玻璃為襯底在磁控濺射設備 中制作NixMg1-xO短波長紫外光探測薄膜，所制備的薄膜晶格失配和離子半徑失配很小，分 別為0.7％和5.7％，禁帶寬度為3.6～7.8eV。用來制作短波長紫外光探測器件。
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