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    行星轉動鍍膜裝置的均勻性模擬和測試方法

    820   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:28:48
    本發明涉及光學鍍膜技術領域，尤其是一種行星轉動鍍膜裝置的均勻性模擬和測試方法，該方法在已知蒸發源和行星夾具結構的條件下，可實現對真空鍍膜均勻性的準確模擬，以及對鍍膜均勻性的快速優化。將蒸發源視作具有一定傾斜角度的大口徑平面靶，膜料通過物理或化學氣相沉積，在平面行星夾具的基底材料表面形成薄膜，首先測試夾具在任一高度下的鍍膜均勻性，再通過模擬計算來確定蒸發源的蒸發特性，進而以模擬方法來確定出夾具的最佳位置，最后按模擬的最佳位置對均勻性進行第二次實際測試。該方法避免了在鍍膜均勻性測試過程中反復多次調節結構位置，僅需根據模擬和計算，便能確定鍍膜均勻性的最佳位置，具有簡便快捷、操作性強的優點。
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    “行星轉動鍍膜裝置的均勻性模擬和測試方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    化學分析
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