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    測量關鍵尺寸的掃描電子顯微鏡校準用樣品

    1063   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:28:48
    本實用新型提供了一種測量關鍵尺寸的掃描電子顯微鏡校準用樣品，包括襯底、第一氧化層、多晶硅結構、第二氧化層和氮化鉭層，所述第一氧化層設在所述襯底上，所述多晶硅結構設在所述第一氧化層與所述第二氧化層之間，所述氮化鉭層設在所述第二氧化層上，本實用新型通過多晶硅結構與氮化鉭層的引入，尤其是氮化鉭的引入，使得其有效地避免了“電荷效應”對校準用樣品的影響，減少了碳氫化合物污染的淀積，增加了測量的準確性，提高了測量關鍵尺寸的掃描電子顯微鏡校準用樣品的使用壽命。與此同時，通過第二氧化層的引入，有效避免了氮化鉭與多晶硅的化學反應。
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    “測量關鍵尺寸的掃描電子顯微鏡校準用樣品” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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