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    銅互連可見-紅外探測器的制備方法

    774   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 07:28:48
    本發明提供一種銅互連可見?紅外探測器的制備方法,包括:S1、分別在讀出電路和感光層上制備銅柱;S2、分別在讀出電路上的銅柱間的間隙內和感光層上的銅柱間的間隙內填充二氧化硅或氮化硅形成復合層;S3、采用光學對準方法將讀出電路和感光層上的銅柱對準;S4、采用低溫退火方法使讀出電路上的銅柱與感光層上的銅柱鍵合;S5、對鍵合后的感光層進行化學機械拋光,以將感光層的襯底去掉,獲得銅互連可見光?短波紅外探測器。利用上述本發明能夠實現可見光?紅外光的寬光譜探測。
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