本發明公開了一種硫化氫氣體的半導體傳感器及測試電路,其傳感器的前驅體采用化學方法制備的三氧化鎢納米材料,然后在表面上修飾氧化銅納米顆粒的復合結構。氣敏元件采用旁熱式結構,該器件在55℃時,其靈敏度為105,并具有很好的選擇性。通過單脈沖調制電壓,響應恢復時間可以控制在65秒以內。本發明的傳感器具有高靈密度、高選擇性、并在低溫下實現快速的響應、恢復。
聲明:
“硫化氫氣體的半導體傳感器及測試電路” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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