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    空腔形成方法、熱電堆紅外探測器及其制作方法

    1043   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:29:11
    本發明提供了一種空腔形成方法、熱電堆紅外探測器及其制作方法，所述空腔形成方法在硅襯底中形成N阱，在N阱包圍的硅襯底中形成N型摻雜的網格結構，并進行電化學腐蝕形成多孔硅層，再通過外延工藝使多孔硅層發生重構形成封閉的空腔。本發明無需通過長時間的濕法腐蝕或干法刻蝕工藝來形成空腔，并且空腔的形成是在金屬淀積之前，不存在常規濕法腐蝕硅襯底形成空腔的工藝中對金屬的腐蝕問題，此外，該空腔的形成方法比較簡單，可與常規CMOS工藝兼容，適于規?；a。
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    “空腔形成方法、熱電堆紅外探測器及其制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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