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    無掩膜版的圖案化薄膜及其制備方法和應用

    1058   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:29:45
    本發明公開了一種無掩膜版的圖案化薄膜及其制備方法和應用。本發明采用激光直寫，待鍍基底位于鍍膜材料的上方或待鍍基底位于鍍膜材料的下方，激光聚焦在鍍膜材料上制備得到無掩膜版的圖案化薄膜。當待鍍基底為玻璃，鍍膜材料為具有抑菌能力的金屬材料時，圖案化鍍膜可以作為透明導電殺菌玻璃，應用于殺菌領域。當待鍍基底為玻璃，鍍膜材料為金屬材料時，制備得到的圖案化鍍膜可以與帶有微流道的PDMS片基組成恒溫擴增微流控芯片，應用于分析化學、生命健康、醫學研究、環境檢測等眾多領域的微流控檢測。本發明的方法不使用掩膜版，簡單實用，成本低廉，并且可以簡單的做到各種尺寸和材質基底的圖案化鍍膜，應用范圍及其廣泛。
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    “無掩膜版的圖案化薄膜及其制備方法和應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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