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    包含具有電阻加熱器的微熱板的氣體傳感器及相關方法

    1081   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:29:48
    一種微熱板，所述微熱板包括懸置在襯底上方的膜，所述膜通過連接在所述襯底與所述膜之間的多個系鏈懸置在所述襯底上方。所述膜包括電阻加熱器，所述電阻加熱器包括導電材料，所述導電材料從所述膜的外圍部分到所述膜的中心具有變化的寬度。所述導電材料包括在第一方向上成螺旋形的第一部分，以及在第二方向上成螺旋形且在所述膜的所述中心與所述第一部分電接觸的第二部分。所述微熱板進一步包括在第一系鏈上方延伸且與所述襯底上的接合焊盤和所述第一部分電接觸的第一導電跡線，和在另一系鏈上方延伸且與所述襯底上的另一接合焊盤和所述第二部分電接觸的第二導電跡線。還公開檢測至少一種分析物的相關化學傳感器和相關方法。
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    “包含具有電阻加熱器的微熱板的氣體傳感器及相關方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    化學分析
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