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    適用SAW器件的納米金剛石膜及制備方法與用途

    970   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:31:08
    本發明公開了一種適用SAW器件的納米金剛石 薄膜及制備方法與用途，這種利用微波等離子化學氣相沉積法 制備的C－軸取向的金剛石納米膜，膜厚6μm，晶粒度為： 200－250nm，sp3成分≥90％，滿 足波長λ≤4μm高頻聲表面波傳播條件。本發明納米金剛石 膜具有C－軸擇優取向，平整光滑，具有一定厚度，結晶度好。 該薄膜可滿足納米金剛石薄膜領域的應用需求，用射頻離子濺 射可制備出C－軸取向的壓電薄膜，例如高頻、大功率聲表面 波(SAW)器件等。經使用HP8712ET網絡分析儀測量SAW濾 波器中心頻率，當IDT指寬為d＝1.7μm時，SAW濾波器中 心頻率可達到1.75GHz。
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    化學分析
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