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    基于硅杯結構的熱分布式微流體流量傳感器

    963   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:31:09
    本發明屬于分析化學中的微全分析系統研究技術領域,用以在生化反應和分離過程中監測微反應體系在運行過程中液體樣品的流動分布和變化狀況。其特征是利用熱分布式微流體流量傳感器的工作原理,采用MEMS技術,將金屬薄膜式微型加熱器和溫度傳感器制作在硅杯上,并使之與石英微管道組合構成熱分布式微流體流量傳感器;以硅杯作為微型加熱器和溫度傳感器的載體。本發明的效果和益處是有效防止了加熱器和溫度傳感器與硅襯底之間的熱交換,提高了微流體流量傳感器的測量靈敏度;設計了彎曲蛇形多抽頭溫度傳感器,以獲得在某一確定流速情況下,上下游溫度傳感器間的最大溫差。
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    “基于硅杯結構的熱分布式微流體流量傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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